低温等离子法作为新兴废气处理措施，近年来发展迅速。其净化机理包括两个方面:

第一，高频高压放电产生的能量可以打开分子的化学键，大分子VOCs可以转化成单个原子或小分子。

等离子体中含有大量的高能电子、正离子和负离子。强氧化自由基与某些有害气体分子结合，在高压电作用下激发大分子激发。当作用于分子的能量大于键能时，有害气体分子的化学键直接断裂，生成无害位置，从而达到转化的目的。同时，有害气体分子被生成的大量的活性基团和高活性臭氧氧化，产生无害的产物。